Fotolitografi biasanya digunakan untuk memproduksi chip komputer. Saat memproduksi chip komputer, bahan substratnya adalah wafer silikon yang dilapisi penahan. Proses ini memungkinkan ratusan chip secara bersamaan dibangun di atas satu wafer silikon.
Bagaimana fotolitografi dilakukan?
Fotolitografi menggunakan tiga langkah proses dasar untuk mentransfer pola dari topeng ke wafer: melapisi, mengembangkan, mengekspos. Pola tersebut ditransfer ke lapisan permukaan wafer selama proses selanjutnya. Dalam beberapa kasus, pola tahanan juga dapat digunakan untuk menentukan pola lapisan tipis yang diendapkan.
Mengapa disebut fotolitografi?
Litografi Semikonduktor (Fotolitografi) - Proses Dasar . Pembuatan sirkuit terpadu (IC) memerlukan berbagai proses fisik dan kimia yang dilakukan pada substrat semikonduktor (misalnya, silikon). … Kata litografi berasal dari bahasa Yunani lithos, yang berarti batu, dan graphia, yang berarti menulis.
Mengapa litografi penting?
Litografi adalah proses pemindahan pola bentuk geometris dalam topeng ke lapisan tipis bahan peka radiasi (disebut resist) yang menutupi permukaan wafer semikonduktor. Gambar 5.1 mengilustrasikan secara skematis proses litografi yang digunakan dalam fabrikasi IC.
Mana metode yang paling banyak digunakan dalam metode litografi?
Optiklitografi adalah teknik berbasis foton yang terdiri dari memproyeksikan gambar ke dalam emulsi fotosensitif (photoresist) yang dilapisi ke substrat seperti wafer silikon. Ini adalah proses litografi yang paling banyak digunakan dalam pembuatan volume tinggi nano-elektronik oleh industri semikonduktor.
