Fotolitografi adalah proses yang digunakan dalam fabrikasi mikro untuk mentransfer pola geometris ke film atau substrat. Bentuk dan pola geometris pada semikonduktor membentuk struktur kompleks yang memungkinkan dopan, sifat listrik, dan kabel melengkapi rangkaian dan memenuhi tujuan teknologi.
Apa itu proses fotolitografi?
Fotolitografi, juga disebut litografi optik atau litografi UV, adalah proses yang digunakan dalam fabrikasi mikro untuk membuat pola bagian pada film tipis atau sebagian besar substrat (juga disebut wafer). … Dalam sirkuit terpadu yang kompleks, wafer CMOS dapat melalui siklus fotolitografis sebanyak 50 kali.
Bagaimana proses mikrofabrikasi?
Microfabrication adalah proses fabrikasi struktur miniatur skala mikrometer dan yang lebih kecil. … Konsep dan prinsip utama fabrikasi mikro adalah mikrolitografi, doping, film tipis, etsa, bonding, dan pemolesan.
Apa yang dimaksud dengan proses litografi dalam semikonduktor?
Sistem litografi semikonduktor melakukan proses di mana pola sirkuit yang sangat kompleks yang digambar pada masker foto yang terbuat dari pelat kaca besar direduksi menggunakan lensa berperforma sangat tinggi dan diekspos ke substrat silikon yang dikenal sebagaiwafer. …
Apa yang dimaksud dengan litografi dalam proses fabrikasi?
Litografi adalahproses pemindahan pola bentuk geometris dalam topeng ke lapisan tipis bahan peka radiasi (disebut resist) yang menutupi permukaan wafer semikonduktor. Gambar 5.1 mengilustrasikan secara skematis proses litografi yang digunakan dalam fabrikasi IC.
