Fotolitografi biasanya digunakan untuk memproduksi chip komputer. Saat memproduksi chip komputer, bahan substratnya adalah wafer silikon yang dilapisi penahan. Proses ini memungkinkan ratusan chip secara bersamaan dibangun di atas satu wafer silikon.
Bagaimana fotolitografi dilakukan?
Fotolitografi menggunakan tiga langkah proses dasar untuk mentransfer pola dari topeng ke wafer: melapisi, mengembangkan, mengekspos. Pola tersebut ditransfer ke lapisan permukaan wafer selama proses selanjutnya. Dalam beberapa kasus, pola tahanan juga dapat digunakan untuk menentukan pola lapisan tipis yang diendapkan.
Apa itu fotolitografi dan bagaimana cara kerjanya?
Fotolitografi adalah proses pola di mana polimer fotosensitif secara selektif terpapar cahaya melalui topeng, meninggalkan gambar laten dalam polimer yang kemudian dapat dilarutkan secara selektif untuk memberikan pola akses ke substrat dasar.
Apa itu fotolitografi dan bagaimana menggunakannya untuk mengimplementasikan transistor?
Ini menggunakan cahaya untuk mentransfer pola geometris dari photomask (juga disebut topeng optik) ke photoresist kimia fotosensitif (yaitu peka cahaya) pada substrat. … Ini memberikan kontrol yang tepat terhadap bentuk dan ukuran objek yang dibuatnya dan dapat membuat pola di seluruh permukaan dengan biaya yang efektif.
Mengapa disebut fotolitografi?
Litografi Semikonduktor(Fotolitografi) - Proses Dasar . Pembuatan sirkuit terpadu (IC) memerlukan berbagai proses fisik dan kimia yang dilakukan pada substrat semikonduktor (misalnya, silikon). … Kata litografi berasal dari bahasa Yunani lithos, yang berarti batu, dan graphia, yang berarti menulis.
