Bagaimana cara kerja fotolitografi?

Daftar Isi:

Bagaimana cara kerja fotolitografi?
Bagaimana cara kerja fotolitografi?
Anonim

Fotolitografi menggunakan tiga langkah proses dasar untuk mentransfer pola dari topeng ke wafer: melapisi, mengembangkan, mengekspos. Pola tersebut ditransfer ke lapisan permukaan wafer selama proses selanjutnya. Dalam beberapa kasus, pola tahanan juga dapat digunakan untuk menentukan pola lapisan tipis yang diendapkan.

Apa itu fotolitografi Bagaimana cara kerjanya?

Fotolitografi adalah proses pola di mana polimer fotosensitif secara selektif terpapar cahaya melalui topeng, meninggalkan gambar laten dalam polimer yang kemudian dapat dilarutkan secara selektif untuk memberikan pola akses ke substrat dasar.

Mengapa fotolitografi digunakan?

Fotolitografi adalah salah satu metode fabrikasi mikro yang paling penting dan termudah, dan digunakan untuk membuat pola detail dalam bahan. Dalam metode ini, suatu bentuk atau pola dapat digores melalui pemaparan selektif polimer peka cahaya terhadap sinar ultraviolet.

Mengapa sinar UV digunakan dalam fotolitografi?

Fotolitografi memungkinkan enkapsulasi 3D sel dalam hidrogel dengan menghubungkan prapolimer yang mengandung sel di bawah sinar UV. Photomask digunakan untuk mendapatkan pola yang diinginkan [88].

Apa persyaratan fotolitografinya?

Pada umumnya proses fotolitografi membutuhkan tiga bahan dasar, sumber cahaya, masker foto, dan photoresist. Photoresist, bahan fotosensitif,memiliki dua jenis, positif dan negatif. Fotoresist positif menjadi lebih larut setelah terpapar sumber cahaya.

Photolithography: Step by step

Photolithography: Step by step
Photolithography: Step by step
26 pertanyaan terkait ditemukan

Direkomendasikan:

Artikel menarik
Apa definisi larva?
Baca lebih lajut

Apa definisi larva?

Larva adalah bentuk remaja yang berbeda yang dialami banyak hewan sebelum bermetamorfosis menjadi dewasa. Hewan dengan perkembangan tidak langsung seperti serangga, amfibi, atau cnidaria biasanya memiliki fase larva dalam siklus hidupnya. Apa Arti Larva?

Apa itu toples leyden?
Baca lebih lajut

Apa itu toples leyden?

Leyden jar adalah komponen listrik yang menyimpan muatan listrik tegangan tinggi antara konduktor listrik di dalam dan di luar toples kaca. Apakah toples Leyden adalah baterai? Guci juga dapat dihubungkan, memungkinkan lebih banyak muatan untuk disimpan.

Bagaimana sistem kolonial untuk hukum dan hukuman mereka?
Baca lebih lajut

Bagaimana sistem kolonial untuk hukum dan hukuman mereka?

Koloni Inggris-Amerika bersifat otokratis dan teokratis, dengan sistem keadilan patriarki: hakim dan pemimpin agama, terkadang satu dan sama, membuat undang-undang, dan beban kepatuhan mereka jatuh pada yang kurang mulia-pedagang, tentara, petani, hamba, budak, dan muda.