Dalam kasus litografi semikonduktor (juga disebut fotolitografi) batu kami adalah silikon wafer dan pola kami ditulis dengan polimer peka cahaya yang disebut photoresist.
Apa yang Anda maksud dengan fotolitografi?
Fotolitografi, juga disebut litografi optik atau litografi UV, adalah proses yang digunakan dalam fabrikasi mikro untuk membuat pola bagian pada film tipis atau sebagian besar substrat (juga disebut wafer). … Metode ini dapat membuat pola yang sangat kecil, hingga beberapa puluh nanometer.
Mengapa litografi digunakan dalam pembuatan semikonduktor?
Fotolitografi adalah proses yang digunakan dalam fabrikasi mikro untuk mentransfer pola geometris ke film atau substrat. Bentuk dan pola geometris pada semikonduktor membentuk struktur kompleks yang memungkinkan dopan, sifat listrik, dan kabel melengkapi rangkaian dan memenuhi tujuan teknologi.
Apa tujuan dari fotolitografi?
Fotolitografi adalah salah satu metode fabrikasi mikro yang paling penting dan termudah, dan digunakan untuk membuat pola detail dalam bahan. Dalam metode ini, suatu bentuk atau pola dapat digores melalui pemaparan selektif polimer peka cahaya terhadap sinar ultraviolet.
Apa itu peralatan litografi semikonduktor?
Peralatan litografi semikonduktor digunakan dalam fase pemaparan chip semikonduktorproses pembuatan. … Peralatan litografi semikonduktor menggunakan lensa proyeksi untuk mengurangi pola sirkuit, yang ditulis pada pelat asli yang disebut reticle, dan memaparkan pola ke wafer.
